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<検査>
外観検査装置 LCD、PDP用のパターン付き基板を自動検査/欠陥判定し、量産の品質工程管理を行う装置です。マザーグラス大型化に伴い品質管理は日々重要視される中、当社は自社製高速CCDラインセンサーカメラ及び画像処理装置により高速、高性能な外観検査装置を実現しております。 |
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高精細外観検査装置 NewFPD(EL、FED etc..)やTFT基板の微細パターン検査が可能です。本装置はラインセンサーカメラ複数台と最適な光学ユニットで画像を取り込み弊社画像処理装置(MP)で画像処理を行い、自動で欠陥を検収します。 |
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ムラ検査装置 ムラ検査装置は、液晶パネル生産工程で発生するムラ欠陥を検出する装置です。 当社のFPD分野での豊富な経験を基に、スジ状に発生するものから点状に発生するものまで、従来はオペレーターによる目視検査を行っていた検査工程の自動化を実現しました。 |