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  FPD
   <修正>

研磨+Laser
研磨+Laser
異物などの欠陥を研磨したり、Laserで照射したりして修復する装置です。 FPD基板の大型化に伴い、1枚あたりの基板の価値が向上した為、本装置の重要性が高まってきております。

 



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