液晶パネル検査技術とフィルム検査技術の融合により、タッチパネルなど複雑な配線パターンの検査を
可能とします。フィルムに対するパターンニング精度のばらつきにも対応し、エリア毎に変化する不安定
要素にも新しい検査アルゴリズム【PGC処理】により対応可能です。
タッチパネル、フレキシブルディスプレイ、薄膜PV用フィルムなど、高速高精細検査を必要とするフィルム
に特化した検査システムとなっています。
液晶パネル検査技術とフィルム検査技術の融合により【高精度】パターン付きフィルム検査を実現
・パターン付きフィルムに適した新処理 『PGC処理』 を開発
配線部まで検査可能、かつ、マスク毎に変化する可能性がある要因に対応することでお客様の製造ラインに安定した
検査システムをご提供します。
| 大項目 | 小項目 | PGC処理 | マッチング(参考) |
| 検査可能領域 | パターン部 |  |
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| 配線部 | |
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| 耐性 | 輝度変化への耐性 | 強 | 弱 |
 フィルムに対するパターニング精度のばらつきへの耐性 |
強 | 弱 | |
| 照明ムラへの耐性 | 強 | 弱 |
欠点部と良品部を明確に切り分ける画像処理
| 分解能 | 10.8μm×10.0μm |
| 搬送速度 | 10m/min |
| 検査精度 | □30μm |
| 対応ライン＆スペース | 30μm/30μm |
| 検査対象項目 | メタル電極不良、透明電極不良、外観不良 etc |
パターン部および、配線部検査例
タッチパネル
フレキシブルディスプレイ etc
