本装置はLCDをはじめ、OLEDやタッチパネル基板などの微細
パターンの検査が可能です。
高分解能レンズを備えたラインセンサカメラと最適な光学系の
組合せで取り込まれた画像データは、弊社独自の画像処理装置
により高速処理され、リアルタイムに基板の状態を把握するこ
とが可能です。
| ・ | 新たな処理方法により、規則パターン及び不規則パターンや長周期パターンの検査が可能。 |
| ・ | 表示部検査と同時に端子部検査が可能となりTFT基板やタッチパネル基板などの検査に最適です。 |
| ・ | オリジナルアルゴリズム”GFC”によりノイズを抑制し、高精細なパターンのオープン/ショートなど微細な欠陥を 検出可能としました。 |
| ・ | 自社開発の高速画像処理技術と高精細検査用レンズにより、高速でかつ安定した検査が可能です。 |
LCD（CF、TFT）、有機ELディスプレイ、タッチパネル
| 最高分解能 | 2μm/pix |
| カメラ | 自社製CCDラインセンサカメラ（16000画素（560MHz）/7400画素（266MHz)） |
| 照明方法 | メタルハライド光源250W＋特殊光学素子付きグラスファイバー照明 または高輝度LED照明 各工程に合わせた光学フィルター |
| 検査ステージ | フリーローラー/エアースライダー リニアモーターステージ |
| レビューユニット | ズーム顕微鏡 光学倍率×5.0～×50 高速オートフォーカスユニット（トレースモード機能付き） |
| 欠陥検出能力 | 2μm以上 |
| タクト例 | 検査時間：60sec/sheet（検出能力5μｍ時） |
・シミ検査機能：シミなどの低コントラスト欠陥も検出
・高速画像転送機能：検査をしながら欠陥情報とともに欠陥画像を高速転送
・ADC（自動欠陥分類機能）：リアルタイムグレー処理、高精細カラー処理を併用
