基板全面のシール断線を検査します。
シール材塗布装置へのフィードバックによりプロセスの管理が可能
な他、液晶滴下装置へのフィードフォワードで液晶漏れによる周辺
パネルへの悪影響を未然に防ぐなど、シール塗布工程の品質管理
に貢献します。
・独自光学系により、TFT側/CF側どちら側でも検査可能です。
・断線の検出はもちろん、±50μｍ程度の細り・太りも検出可能です。
CELL工程/シール材
| 検査対象 | CELL工程/シール材 |
| 照明 | シール断線検査専用LED |
| カメラ | 自社製ラインセンサーカメラ（7,400画素/266MHz） |
| 検出方法 | 自社独自シール断線検出アルゴリズム |
| 検査精度 | ±50μｍ細り・太り検出 |
| 検査タクト | 25sec/sheet（2200×2500mm） |
※検出精度、検査タクトはご要望に合わせカスタマイズ対応致します。
