ムラ/膜厚検査装置は、LCD生産工程で発生するムラ欠陥を検出
する装置です。
当社のフラットパネル分野での豊富な経験を基に、スジ状に発生
するものから点状に発生するものまで、従来はオペレーターによ
る目視検査を行っていた検査工程の自動化を実現しました。
・LCDカラーフィルター製造工程やセルアセンブリ工程、各工程でのムラ検出を実現しました。
・工程に併せ最適な光学系を提案することが可能です。
・スピンコーター起因、インクジェット塗布装置起因、搬送起因など、様々な起因による欠陥検出が可能です。
・オプション機能として全面膜厚管理機能、膜厚測定ヘッドの搭載も可能です。
CF工程レジストコートムラ、TFT工程レジストコートムラ、各種工程レジストコートムラ
| 撮像方式 | CCDラインセンサーカメラ |
| 照明方法 | 透過照明 or 反射照明 |
| 使用光源 | LED or メタルハライド照明 各工程に合わせた光学フィルター |
| 検査ステージ | コンベア搬送 ※お客様の既存コンベア設置可能ですが、改造を必要とする場合があります |
| 欠陥検出能力 | 幅1mm以上 ※但し、事前にお客様の欠陥品サンプルにて評価させて頂きます |
| タクト例 | 検査時間：30sec/sheet以内 (2200×2500mm） |
・全面膜厚管理機能 ・膜厚測定ヘッド搭載
