本装置は膜厚や表面粗さ等の測定が可能な三次元形状測定装置です。
独自のワイドレンジスキャナーにより700μmの広視野測定も可能となり
ました。
FPD用大型基板に対応したインラインAFMを唯一開発製造して
おり、多くのFPDメーカーで使用されています。
・評価分析用の汎用モデルから大型ステージ対応モデルまで幅広くラインナップ。
FPD用の大型基板を破壊せずに全自動測定が可能。ウエハーや試料分析には簡易な手置きタイプを低価格で提供します。
・高剛性、防音設計および高性能アクティブ除振台の搭載による振動対策をはじめ、LD/ULD対応、自動多点測定など
インライン測定にも対応。
・700μm視野を持つワイドレンジスキャナーの搭載により、RGB全画素の同時測定が可能。歪みやステッチングのない
より高精度な画素間の段差、全体形状が把握できます。
・新方式のプローブを垂直方向に上下させるUP/DOWN測定モードで、トレンチ深さの測定も容易に対応
・オペレーションは、測定座標、測定パラメータ、データ解析等のレシピ登録により単純化しました。
| AS-7B-AUTO | AS-7B-μX | |
| 測定モード | コンタクトAFM、AC-AFM、Up/Downモード、位相イメージ（オプション） | |
| XY軸スキャナー | ワイドレンジスキャナー: 220×220, 440×440, 700×700μm クローズループセンサー内蔵 高分解能スキャナー : 30×30μm |
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| Z軸スキャナー | 15μm ストローク 変位検出センサー内蔵 横方向歪みキャンセル制御 | |
| 測定再現性 | 3σ≦1nm | |
| 測定時間 | 45sec/ポイント（一次元測定） | |
| 光学顕微鏡 | 電動ズーム／フォーカス 98 ～ 685倍/14“モニター | |
| カンチレバー | プリマウント着脱方式 メーカー： Olympus、Nanoworld、NanoTools(HDC)、CNTプローブ 他 | |
| ステージサイズ | 最大 2200×2500mm リニアモーターステージ | 標準 150×150mm パルスモーターステージ |
| 除振機構 | 標準 アクティブ除振台 | パッシブまたはアクティブ除振台 |
