高精細化が進むLCD、有機ELやタッチパネル基板などに対応した高分解能検査装置です。

シール材塗布工程、液晶滴下工程でのシール形状（断線・細り・太り）検査を独自の
光学系とアルゴリズムで行います。

FPD生産工程のムラ欠陥を検出することにより、生産工程における損失を無くし、
飛躍的な歩留まり向上に貢献します。

TFT工程において、弊社外観検査装置とのリンクにより効率的な自動修正を行います。

基板の表面状態を超高分解能・高精度で測定可能な3次元測定装置です。
研究開発、生産ラインでの製膜プロセスモニター・品質管理などに活用が可能で、
測定データのフィードバックにより、製造工程における高い生産性を実現します。