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＜検査＞
ウエハマイクロクラック検査装置
レーザー光を用いた太陽電池ウエハ用のマイクロクラック検査装置です。当社が開発した結晶粒界クリア技術により、単結晶のみならず、多結晶シリコンも粒界に左右されることなく、非貫通クラックやクローズドクラックの明瞭な欠陥検出が可能です。
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セルクラック検査装置
レーザー光を用いた太陽電池セル用のマイクロクラック検査装置です。起電流を用いた検査方法を採用し、単結晶のみならず、多結晶シリコンも粒界に左右されることなく、セルクラックの自動検出、自動判別が可能です。
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