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　 FPD

＜検査＞
     
外観検査装置
外観検査装置
高精細外観検査装置
高精細外観検査装置		 ムラ検査装置
ムラ検査装置		  

＜測定＞

      
OD膜厚測定装置
OD膜厚測定装置
CD/Overlay測定装置
CD/Overlay
外観検査装置
白色干渉式高さ測定装置
白色干渉式
高さ測定装置
シール断面形状検査装置
シール断面形状
検査装置
afm
AFM(FPD分野向け)

＜修正＞

      
研磨＋Laser
研磨＋Laser



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　 FPD

 

＜検査＞

  

＜測定＞
バンプ高さ形状検査装置
バンプ高さ形状
検査装置
パターン外観検査装置
LED/LD用
検査装置
　 afm
AFM
（半導体分野向け）　

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　 フィルム

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