FPD検査装置
Micro LED Display 向け検査装置
LED製造工程
Display製造工程
LINE UP
Inspection
- 異物検査
- 半導体ノンパターン欠陥検査のスタンダードモデル。高感度、高速検査
- AOI
- 半導体検査のスタンダードモデル。複雑パターンを高速に検査可能
- チップ位置ズレ検査
- 基板内の全チップの位置を測定するとともに、チップ反転や異物等も検査可能
LASER
- LLO/Repair
- ステージスキャンにより全数転写の高速化を実現。ガルバノスキャンによる高速転写。特定位置の 1by1 転写を実現
- Marking
- サファイア、GaN、GaAs 等のLED ウェハに熱ダメージのない高精細加工が可能
