ウェーハ検査装置
ALTAX高速バンプ高さ検査装置
製品紹介 / ABOUT PRODUCT

ALTAX
High-Speed Bump Height inspection System.
It enables the world's fastest Inspection for bump height with special area cameras in which Takano's original CMOS sensors are used.
タカノオリジナルのCMOSセンサーを使用したエリアカメラにより、世界最高速レベルのバンプ高さ検査が可能です。
詳細説明 / DETAIL

仕様 / SPECIFICATION
| ALTAX | |
|---|---|
| camera | Original CMOS camera |
| Wafer | ~300mm |
| Handling | Robot |
| Loader | Open Cassette, SMIF, FOUP |
| Resolution | 1, 3, 6μm |
| Application | CIS, POWER device, RF filter, FoWLP, FoPLP |
