ウェーハ検査装置
VC-Series4～6インチ対応 コストパフォーマンスモデル
基本仕様
| ウェーハサイズ | 4inch / 6inch | |
| 基板投入 | ロボット | |
| ローダー仕様 | オープンカセット（1Port） | |
| 検査カメラ | モノクロエリアカメラ | |
| 検査光学系 | 同軸落射 | |
| 検査倍率(分解能) | X2.5 (1.8µm) | X5(0.9µm) |
| 検査可能最大チップサイズ | □5.0mm | □2.5mm |
| 欠陥検出サイズ※タカノ標準サンプルにて評価 | >□2.4µm | >□1.2µm |
| スループット(WPH)カセット交換時間は含まず | 80(4inch) 45(6inch)相当※最速ケース | 45(4inch) 24(6inch)相当※最速ケース |
