Viパターン付きウェーハ検査装置

製品紹介 / ABOUT PRODUCT

Vi-4XXX Series

High-speed Visual Inspection system

Vi-4XXX is the standard model of Vi series that has the advantage of inspection technology.
Vi-4XXXは優れた検査技術を搭載したViシリーズのスタンダードモデルです。

Vi-5301M,C

Color Visual Inspection system

Vi-5301 is the high end flagship model of Vi series that can select color or monochrome inspection technology.
Vi-5301はカラー検査、モノクロ検査を選択可能なViシリーズのハイエンドフラッグシップモデルです。

Fine defect detection, classification and high-speed inspection.
微細な欠陥検出と欠陥分類と高速検査を実現しました。