ウェーハ検査装置
WMウェーハ表面異物検査装置
製品紹介 / ABOUT PRODUCT
WM-10
Non-patterned 300mm Wafer surface Inspection system
WM-10 is a standard model of 300 mm wafer.
WM-10は300mmウェーハの標準モデルです。
WM-7S/7SG
Non-patterned below 200mm Wafer surface Inspection system
WM-7 series is the most reasonable high performance model below 200 mm wafer size.
WM-7シリーズは、200mmウェーハサイズ以下の高性能モデルです。
WM-7SG can inspect transparent wafers.
WM-7SGは透明ウェーハを検査することが可能です。
詳細説明 / DETAIL
仕様 / SPECIFICATION
| WM-10 | WM-7S/7SG | |
|---|---|---|
| Sensitivity | 50nm@Bare-Wafer | 80nm@Bare-wafer: WM-7S 200nm@Glass-wafer: WM-7SG |
| Wafer Size | ～300mm | ～200mm |
| Optical Source | Laser Diode (405nm) | |
| Loader | FOUP (1or2) / Open Cassette | Open Cassette |
| Size | 1500mm x 1200mm x 1950mm | 860mm x 900mm x 1650mm |
| Application | Bare-wafer / Filmed-wafer | |
