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LINE UP

Inspection

異物検査
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半導体ノンパターン欠陥検査のスタンダードモデル。高感度、高速検査
AOI
AOI
半導体検査のスタンダードモデル。複雑パターンを高速に検査可能
チップ位置ズレ検査
チップ位置ズレ検査
基板内の全チップの位置を測定するとともに、チップ反転や異物等も検査可能

LASER

LLO/Repair
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ステージスキャンにより全数転写の高速化を実現。ガルバノスキャンによる高速転写。特定位置の 1by1 転写を実現
Marking
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サファイア、GaN、GaAs 等のLED ウェハに熱ダメージのない高精細加工が可能