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ウェーハ検査装置

WMウェーハ表面異物検査装置

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製品紹介 / ABOUT PRODUCT

WM-10

WM-10

Non-patterned 300mm Wafer surface Inspection system

WM-10 is a standard model of 300 mm wafer.
WM-10は300mmウェーハの標準モデルです。

WM-7S/7SG

WM-7S/7SG

Non-patterned below 200mm Wafer surface Inspection system

WM-7 series is the most reasonable high performance model below 200 mm wafer size.
WM-7シリーズは、200mmウェーハサイズ以下の高性能モデルです。

WM-7SG can inspect transparent wafers.
WM-7SGは透明ウェーハを検査することが可能です。

詳細説明 / DETAIL

詳細説明 / DETAIL

仕様 / SPECIFICATION

WM-10 WM-7S/7SG
Sensitivity 50nm@Bare-Wafer 80nm@Bare-wafer: WM-7S
200nm@Glass-wafer: WM-7SG
Wafer Size ~300mm ~200mm
Optical Source Laser Diode (405nm)
Loader FOUP (1or2) / Open Cassette Open Cassette
Size 1500mm x 1200mm x 1950mm 860mm x 900mm x 1650mm
Application Bare-wafer / Filmed-wafer