技術情報

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AFM(原子間力顕微鏡)

AFMは極めて先鋭なプローブでサンプル表面を走査し、ナノメータレベルの精度で三次元形状を測定する装置です。主に研究者・技術者が使用する評価装置の位置付けで製品化されているため、製造現場からのニーズに対しては満足できるAFM装置が少ないのが現状です。

タカノは生産ライン向けにカスタマイズを行い、ハンドリング機構、自動測定・解析ソフトウェアなどを適合した装置形態に対応することが可能です。


高精度形状測定に特化

各AFMメーカーは研究開発用途を目的としてきたため、形状測定以外に例えば磁気、電流、摩擦力マッピングの画像化など、多くの測定モードを持つことで差別化しています。
一般の製造工程ではパターン形状を高精度で測定するニーズがほとんどであることから、タカノは形状測定機能に特化し、精度、操作性の向上に注力してきました。またAFMは測定視野が狭いという欠点を克服するため、従来他社製品の約100倍(面積比)に相当するワイドレンジスキャナーと高分解能スキャナーを複合したヘッドを開発し、ナノから数百ミクロンメーター領域を1台でカバーすることができます。


完全自動測定

生産ラインではオペレーターが多くを介在することなく自動化が要求されます。そこでタカノは基板搬送から測定解析までを完全自動化したAFMを製品化しており、品種あるいは測定目的に応じたレシピを作成しておくことで、特別な知識が無くても容易に操作できるようになっています。


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装置例:AFM(原子間力顕微鏡)

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