お知らせ
2026.11.10
「SEMICON Europa 2026」でウェーハ表面検査装置WM＋シリーズを紹介いたします
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WM-7SR+ -
WM-10R+
2026年11月10日(火)～13日(金)にドイツ・ミュンヘンのメッセ・ミュンヘン(Messe München)で開催される「SEMICON Europa 2026」において、ウェーハ表面検査装置WM＋シリーズの「WM-7SR+」「WM-10R+」の特長や仕様をパネルでご紹介いたします。展示は、当社の欧米独占代理店であるClassOne Equipment, Inc.(本社：米国ジョージア州アトランタ)のブース(B0 424)にて行います。
欧米では、長年使用されてきたパーティクル検査装置の保守部品や技術者の確保が難しくなりつつあり、装置更新のニーズが高まっています。WM＋シリーズは、2～12インチの幅広いウェーハサイズに対応し、長期使用に対応した信頼性と低ランニングコストを両立したパーティクル検査装置として、こうしたニーズにお応えします。欧州・北米では、ClassOne Equipment社が販売から据付、保守サービス、部品供給までを一貫してサポートいたします。
今回は、デバイスメーカー、装置メーカー、ウェーハ・材料メーカー、研究機関などを対象に、WM＋シリーズの特長をご紹介いたします。ぜひ、ClassOne Equipment社のブースへお立ち寄りください。
過去の展示会でのClassOne社ブースの様子
SEMICON Europa 2026 開催概要
| 開催日程： | 2026年11月10日(火)～13日(金) |
| 開催時間： | 9:00～18:00（最終日のみ15:00まで）※現地時間 |
| 開催場所： | ドイツ・ミュンヘン メッセ・ミュンヘン(Messe München) ※electronica 2026と同時開催 |
| ブース番号： | B0 424（ClassOne Equipment, Inc.ブース） |
| 公式HP： | https://www.semiconeuropa.org ご来場には、公式サイトでの来場登録（チケットの取得）が必要です。 ▽来場登録はこちら https://www.semiconeuropa.org/about/register |
紹介製品
ウェーハ表面検査装置 WM＋シリーズ
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。ナノレベルのパーティクル（異物）を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
WM-7SR+、WM-10R+は、外観デザインを刷新した最新モデルです。従来機と同等の性能を維持しながら、新しい意匠によりブランドの一貫性と訴求力を強化しました。また、構成部材の見直しを行い長期使用に対応した信頼性を確保しており、安心して長期間ご利用いただける設計となっております。
SEMI、FDA、CE、UKCAに準拠しています。
主な仕様
▼詳しくはこちらから
https://www.takano-kensa.com/kensa/products/frontend-inspection/wm/
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。ナノレベルのパーティクル（異物）を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
WM-7SR+、WM-10R+は、外観デザインを刷新した最新モデルです。従来機と同等の性能を維持しながら、新しい意匠によりブランドの一貫性と訴求力を強化しました。また、構成部材の見直しを行い長期使用に対応した信頼性を確保しており、安心して長期間ご利用いただける設計となっております。
SEMI、FDA、CE、UKCAに準拠しています。
主な仕様
| WM-7SR+ | WM-10R+ | |
|---|---|---|
| 最高検出感度（Bare-Si） | 79nm（61nm optional） | 48nm |
| ウェーハサイズ | 2～8inch | 4～12inch |
| ダイナミックレンジ | 79nm～5.0μm | 48nm～5.0μm |
| 装置サイズ（mm） | W860 × D905 × H1655 | W1530 × D1242 × H1955 |
| 安全認証 | SEMI, FDA, CE, UKCA 準拠 | SEMI, FDA, CE, UKCA 準拠 |
https://www.takano-kensa.com/kensa/products/frontend-inspection/wm/
ClassOne Equipment, Inc.について
ClassOne Equipment, Inc.(本社：米国ジョージア州アトランタ)は、タカノのウェーハ表面検査装置の欧米独占代理店です。欧州・北米において、WMシリーズの販売から据付、保守サービス、部品供給までを担い、導入後の運用もサポートしています。また、新品装置のほか、リファービッシュ（再生）装置や交換部品の販売、保守サービスなども幅広く手がけています。
URL：https://classoneequipment.com
URL：https://classoneequipment.com
製品に関するお問い合わせ
【欧州・北米のお客様】
ClassOne Equipment, Inc.
E-mail：sales@classoneequipment.com
TEL：+1 770-808-8708
【その他の地域のお客様】
タカノ株式会社 画像計測部門
URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/contact/
ClassOne Equipment, Inc.
E-mail：sales@classoneequipment.com
TEL：+1 770-808-8708
【その他の地域のお客様】
タカノ株式会社 画像計測部門
URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/contact/