高速3D検査

高速性に優れた光切断法を元に、弊社オリジナルの画像処理と新開発の超高速CMOSセンサを採用することにより、高精度かつ高速に検査が可能なインライン３D測定システムを開発しました。

ウェーハ表面検査装置 (WM series)

ベアウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出することが可能で、工程管理用に様々な場面で使用されています。

表面欠陥検査装置 ZEBBRA

立体物の表面欠陥検査を可能にする技術「ZEBBRA」は、 現在目視検査が主流となっている外観検査の自動化を実現します。
自動車業界を中心に、小物製品から自動車ボディなどの大型製品まで、幅広く対応が 可能です。