2023.07.04 展示会情報



| Major Specification | WM-7SR | WM-10 |
| 最高検出感度(ベアSi) | 0.079μm(0.061μm optional) | 0.048μm |
| ウェーハサイズ | 2inch~8inch | 4inch~12inch |
| スループット |
55wph@8inch 60wph@6inch |
70wph@12inch |
| ダイナミックレンジ | 0.079μm~5.0μm | 0.048μm~5.0μm |
| 装置サイズ(mm) | W860×D900×H1650 | W1482×D1173×H1950 |
| 安全認証 | FDA,CE,SEMI | FDA |
| 開催日程: | 2023年7月11日(火)~13日(木) |
| 開催時間: | 10:00~17:00(最終日のみ 16:00まで) (現地時間) |
| 開催場所: | Moscone Center(カリフォルニア州 サンフランシスコ) |
| ブース番号: | #447(South Hall) |
| 公式HP: | https://www.semiconwest.org/ |