お知らせ

2023.07.04
サンフランシスコで7月11日から13日に開催される世界最大級の半導体展示会「SEMICON WEST 2023」に出展

昨年の展示ブース
出展製品
ウェーハ表面検査装置 WMシリーズ
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。
光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
ナノレベルのパーティクル(異物)を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。
製品仕様
URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/
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WM シリーズ:WM-7SR -

WM シリーズ:WM-10
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。
光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
ナノレベルのパーティクル(異物)を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。
製品仕様
| Major Specification | WM-7SR | WM-10 |
| 最高検出感度(ベアSi) | 0.079μm(0.061μm optional) | 0.048μm |
| ウェーハサイズ | 2inch~8inch | 4inch~12inch |
| スループット |
55wph@8inch 60wph@6inch |
70wph@12inch |
| ダイナミックレンジ | 0.079μm~5.0μm | 0.048μm~5.0μm |
| 装置サイズ(mm) | W860×D900×H1650 | W1482×D1173×H1950 |
| 安全認証 | FDA,CE,SEMI | FDA |
URL:https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/
「SEMICON WEST」開催概要
| 開催日程: | 2023年7月11日(火)~13日(木) |
| 開催時間: | 10:00~17:00(最終日のみ 16:00まで) (現地時間) |
| 開催場所: | Moscone Center(カリフォルニア州 サンフランシスコ) |
| ブース番号: | #447(South Hall) |
| 公式HP: | https://www.semiconwest.org/ |