Product Information
Non-patterned 300mm Wafer surface Inspection system
WM - 10 is a standard model of 300 mm wafer.
It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.
Non-patterned below 200mm Wafer surface Inspection system
WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.
WM - 7SG can inspect transparent wafers.
WM-10 | WM-7S/7SG | |
Sensitivity | 48nm@Bare-Wafer | 80nm@Bare-wafer:WM-7S 200nm@Glass-wafer:WM-7SG |
Wafer Size | ~300mm | ~200mm |
Optical Source | Laser Diode(405nm) | |
Loader | FOUP(1 or2)/Open Cassette | Open Cassette |
Size | 1482mm×1173mm×1950mm | 860mm×900mm×1650mm |
Application | Bare-wafer/Filmed-wafer |
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タカノ株式会社 画像計測部門
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