お知らせ
2023.11.01
11月14日から17日に開催される世界最大級の半導体展示会「SEMICON Europa 2023」に出展いたします
展示ブースイメージ
欧米での本格販売に向けて世界標準機となる「WM-7SR」を投入し、半導体の表面検査装置における国内外での販売増加を見込んでおります。
出展製品
ウェーハ表面検査装置 WMシリーズ
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。
光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
ナノレベルのパーティクル（異物）を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。
製品仕様
URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/
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WM シリーズ：WM-7SR -
WM シリーズ：WM-10
半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。
光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
ナノレベルのパーティクル（異物）を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。
製品仕様
| Major Specification | WM-7SR | WM-10 |
| 最高検出感度（ベアSi） | 0.079μm(0.061μm optional) | 0.048μm |
| ウェーハサイズ | 2inch～8inch | 4inch～12inch |
| スループット |
55wph@8inch 60wph@6inch |
70wph@12inch |
| ダイナミックレンジ | 0.079μm～5.0μm | 0.048μm～5.0μm |
| 装置サイズ（mm） | W860×D900×H1650 | W1482×D1173×H1950 |
| 安全認証 | FDA,CE,SEMI | FDA |
URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/
「SEMICON Europa 2023」開催概要
| 開催日程： | 2023年11月14日(火)～17日(金) |
| 開催時間： | 09:00～18:00(最終日のみ 16:00まで) (現地時間) |
| 開催場所： | Messe München, München, Germany（ドイツ ミュンヘン） |
| ブース番号: | B0-720 |
| 公式HP： | https://www.semiconeuropa.org/ |