製品情報 Product
半導体関連（SEMI）
WM、Vi、ALTAX、Thinspector、PSL
高性能な検査装置の開発および製造を通じて、
半導体産業の皆様に対して高品質なソリューションを提供します。
装置
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前工程検査装置
デバイスメーカーに限りなく、最適な前工程用の検査装置です。工程管理用の検査、異物検査、パーティクル検査、膜厚検査にも対応します。
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後工程検査装置
ダイシング後、エクスパンド後、及び全体的な後工程をカバーする様々な外観検査装置を取り扱い、顧客のニーズに合わせてご提案します。
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パッケージ検査装置
ウェーハと基板のパッケージ専用の検査装置です。
半導体だけでなく、電子部品向けにも対応可能です。 -
材料・装置メーカー向け検査装置
ウェーハメーカー、ウェーハ用材料メーカー、製造装置メーカーの工程管理や
出荷前評価に最適な検査装置です。
PSL粒子塗布ウェーハ
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PSL粒子塗布ウェーハ
業界標準の様々なウェーハ表面検査装置の校正や工程管理に使用されるウェーハです。
フィルム検査装置
HAWKEYES シリーズ
あらゆる分野で高機能化、高品質化が進み、Roll-to-Rollでは、より高度な機能が求められています。この高度化するRoll-to-Roll生産工程に対して微細、低コントラスト、キズ欠陥などに対しても高速検査を可能にしたのがHAWKEYESです。
超高速無地フィルム
外観検査装置
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HAWKEYES ONE
業界最速級の検査システムで超高速生産ラインにも対応！
微細欠陥をリアルタイムで検出・分類し、流出リスクを大幅に低減。
品質管理を強化しながら、生産効率のアップも可能に！
無地フィルム外観検査装置
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HAWKEYES ELITE
高速高精細検査とカスタマイズ性を融合
様々な要求に柔軟に対応し、生産性に寄与します。
パターン付フィルム
外観検査装置
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HAWKEYES PATTERN
独自のアルゴリズムと画像処理ハードウェアでRoll-to-Roll工程においてパターニングされたフィルムを検査します。
フラットパネル
検査装置
AOI & Mura
液晶テレビやスマートフォン。
身の周りの表示ディスプレイに使われる各種フラットパネル。
その製造工程での品質向上に役立つ検査装置の開発・製造を行います。
高精細外観検査装置
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AOI
高精細化が進むLCD、有機ELやタッチパネル基板などに対応した高分解能検査装置です。
ムラ検査・膜厚測定装置
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ムラ（Mura）
FPD生産工程のムラ欠陥を検出することにより、生産工程における損失を無くし、飛躍的な歩留まり向上に貢献します。
先端PKG用ガラス基板
Vi、ALTAX、Thinspector
最新技術を駆使し、透明基板にも対応可能な外観検査装置です。
特に、TGVのVia穴埋め後やメッキ後の凹み検査など、
さまざまな用途に対応する高精度なソリューションを提供します。
ウェーハ外観検査装置
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Viシリーズ
ウェーハの配線パターンや色ムラ、クラックなどを高速かつ高精度に検査します。さらに、透明ウェーハにも対応可能で、幅広い用途に最適な検査ソリューションを提供します。
バンプ高さ検査装置
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ALTAXシリーズ
半導体ウェーハやBGA、CSPなどのパッケージ基板上のバンプ高さ、径、コプラナリティを高速・高精細に測定し、Via穴埋め後やメッキ後の凹み検査にも対応、改良された光学系とデータ処理法により、従来の光切断方式を超える高精度測定を実現します。
全面膜ムラ検査装置
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Thinspector
1スキャンでウェーハ全面のムラ又は膜厚の検査を実施することができます。