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ウェーハ検査装置

ALTAX高速バンプ高さ検査装置

製品紹介 / ABOUT PRODUCT

ALTAX

ALTAX

High-Speed Bump Height inspection System.

It enables the world's fastest Inspection for bump height with special area cameras in which Takano's original CMOS sensors are used.
タカノオリジナルのCMOSセンサーを使用したエリアカメラにより、世界最高速レベルのバンプ高さ検査が可能です。

詳細説明 / DETAIL

詳細説明 / DETAIL

仕様 / SPECIFICATION

ALTAX
camera Original CMOS camera
Wafer ~300mm
Handling Robot
Loader Open Cassette, SMIF, FOUP
Resolution 1, 3, 6μm
Application CIS, POWER device, RF filter, FoWLP, FoPLP