お問い合わせ

ウェーハ検査装置

VC-Series4~6インチ対応 コストパフォーマンスモデル

VC-Series

基本仕様

ウェーハサイズ 4inch / 6inch
基板投入 ロボット
ローダー仕様 オープンカセット(1Port)
検査カメラ モノクロエリアカメラ
検査光学系 同軸落射
検査倍率(分解能) X2.5 (1.8µm) X5(0.9µm)
検査可能最大チップサイズ □5.0mm □2.5mm
欠陥検出サイズ※タカノ標準サンプルにて評価 >□2.4µm >□1.2µm
スループット(WPH)カセット交換時間は含まず 80(4inch) 45(6inch)相当※最速ケース 45(4inch) 24(6inch)相当※最速ケース
仕様 / SPECIFICATION