フラットパネルディスプレイ（FPD）
高精細
外観検査装置
高精細外観検査装置とは
LCDをはじめ、OLEDやタッチパネル基板などの微細パターンの検査が可能です。 高分解能レンズを備えたラインセンサカメラと最適な光学系の組合せで取り込まれた画像データは、弊社独自の画像処理装置により高速処理され、リアルタイムに基板の状態を把握することが可能です。
検査対象
- LCD（CF、TFT）
- 有機ELディスプレイ
- タッチパネル など
欠陥検出例
-
パータン -
異物 -
ピンホール
など
特長
-
オリジナルアルゴリズム
“GFC”により
微細欠陥を検出可能 -
タカノオリジナルの
高速画像処理技術と
高精細検査用レンズにより
高速かつ安定した検査 -
G10.5までの実績がある
仕様表
| 最高分解能 | 3μm／pix |
|---|---|
| カメラ | 自社製ラインセンサカメラ（16000画素（560MHz）／7400画素（266MHz）） |
| 照明方法 | 高輝度LED照明/各工程に合わせた光学フィルター |
| 検査ステージ | フリーローラー／エアースライダー／リニアモーターステージ |
| レビューユニット | ズーム顕微鏡 光学倍率×5.0～×50／高速オートフォーカスユニット（トレースモード付き） |
| 欠陥検出能力 | 3μm以上 |
| タクト例 | 30sec／sheet（検出能力5μｍ時） |
オプション
- シミ検査機能：シミなどの低コントラスト欠陥も検出
- 高速画像転送機能：検査をしながら欠陥情報とともに欠陥画像を高速転送