セルクラック検査装置 ALIS-C

太陽電池セル検査の完全自動検査を目指し、既存の検出方法とは全く異なる手法を取り入れ、クラック検出に特化した理論に基づき、完全自動検査を実現しました。

特徴

既存の検出方法ではモジュール工程で発生するセル割れを低減させることは難しく、完全自動検査は不可能で、人間の目、耳などに頼らなければならない判別方法でセルのクラック検査は行われている状況でした。この部分に焦点をあて、完全なるクラックを1セル1秒という高速での自動検査を目標に本装置を開発いたしました。

• 起電流を用いた直接的な検査
• 多結晶ウェーハの粒界の影響を受けない検査
• クラックを自動認識、OK、NGの自動判別が可能
• スループット 1,440Cell/hの高速検査を実現
• オフライン、インラインに対応可能

仕様

運用例

セル工程での最終クラック検査。

セル最終工程でのより精密なクラック検査を行うことにより、セル品質の向上が図られ、競争力のあるセル販売が可能になります。

モジュール工程でのセル受入検査。

モジュール工程において、セル割れ率を減少、歩留まり率の向上、ラインダウンタイムの低減、稼動率アップを実現します。

応用例

モジュール工程での様々な工程間検査を可能とし、工程でのセル割れの原因を解明。

参考画像