Product Information
ムラ/膜厚検査装置は、LCD生産工程で発生するムラ欠陥を検出する装置です。
当社のフラットパネル分野での豊富な経験を基に、スジ状に発生するものから点状に発生するものまで、従来はオペレーターによる目視検査を行っていた検査工程の自動化を実現しました。
CF工程レジストコートムラ、TFT工程レジストコートムラ、各種工程レジストコートムラ
撮像方式 | CCDラインセンサーカメラ |
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照明方法 | 透過照明 or 反射照明 |
使用光源 | LED or メタルハライド照明 各工程に合わせた光学フィルター |
検査ステージ | コンベア搬送 ※お客様の既存コンベア設置可能ですが、改造を必要とする場合があります |
欠陥検出能力 | 幅1mm以上 ※但し、事前にお客様の欠陥品サンプルにて評価させて頂きます |
タクト例 | 検査時間:30sec/sheet以内 (2200×2500mm) |
システムアップ
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タカノ株式会社 画像計測部門
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