前工程検査装置ではどのような検査が可能ですか？

パータンなしウェーハ表面のパーティクル検出（WMシリーズ）と、1スキャンでウェーハ全面のムラまたは膜厚の検査（Thinspector）が可能です。品質や歩留り管理に寄与する高品質でCOOに優れた装置を提供しています。

WMシリーズの特長は何ですか？

WMシリーズはパータンなしウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出できます。工程管理用途として様々な場面で使用されています。

Thinspectorは1スキャンでウェーハ全面のムラ検査または膜厚測定を実施できます。前工程プロセスの品質・歩留り管理を効率的に支援します。

前工程プロセスの品質、歩留り管理などに寄与する高品質、ハイコストパフォーマンスの装置をご提供します。

パータンなしウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出することが可能で、工程管理用に様々な場面で使用されています。

1スキャンでウェーハ全面のムラ又は膜厚の検査を実施することができます。