材料・装置メーカー向けの検査装置
材料・装置メーカー向けの検査装置とは
半導体材料の開発、 製造装置の出荷前検査などにご使用いただける高品質、ハイコストパフォーマンスの装置を提供します。
パータンなしウェーハ表面検査装置
WMシリーズ
パターンなしウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出することが可能で、工程管理用に様々な場面で使用されています。
超高速無地フィルム
外観検査装置
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HAWKEYES ONE
業界最速システム超高速生産ラインに対応！
微細欠陥を検出分類し、流出防止はもちろん品質管理に貢献。そして生産効率のアップを可能に！
無地フィルム外観検査装置
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HAWKEYES ELITE
高速高精細検査とカスタマイズ性を融合
様々な要求に柔軟に対応し、生産性に寄与します。
パターン付フィルム
外観検査装置
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HAWKEYES PATTERN
独自のアルゴリズムと画像処理ハードウェアでRoll to Roll工程においてパターニングされたシートを検査します。