フラットパネルディスプレイ（FPD）
ムラ検査／
膜厚測定装置
ムラ検査／膜厚測定装置とは
ムラ/膜厚検査装置は、LCD生産工程で発生するムラ欠陥を検出する装置です。
弊社のフラットパネル分野での豊富な経験を基に、スジ状に発生するものから点状に発生するものまで、従来はオペレーターによる目視検査を行っていた検査工程の自動化を実現しました。
検査対象
- CF工程レジストコートムラ
- TFT工程レジストコートムラ
- 各種工程レジストコートムラ など
欠陥検出例
-
OC 膜のムラ -
PI 膜のムラ
など
特長
-
各工程でムラ検出を実現
-
様々な起因による欠陥検出が可能
仕様表
| 撮像方式 | ラインセンサーカメラ |
|---|---|
| 照明方法 | 透過照明 or 反射照明 |
| 使用光源 | LED／各工程に合わせた光学フィルター |
| 検査ステージ | コンベア搬送 ※お客様の既存コンベア設置可能ですが、改造を必要とする場合がございます。 |
| 欠陥検出能力 | 幅1mm以上 |
| タクト例 | 30sec/sheet以内 （2200×2500mm） |
オプション
- 膜厚測定ヘッド搭載