PSL粒子塗布ウェーハ
PSL粒子塗布ウェーハとは
PSL粒子塗布ウェーハは、ウェーハ表面パーティクル検査装置の校正や評価に使用され、検査装置の検出感度や精度を確保するための重要な役割を果たします。
※PSL粒子：ポリスチレンラテックス粒子
当社では、お客様のご希望の粒子サイズ(※1)で塗布したウェーハを提供しております。半導体の検査や計測用途に最適です。
※1：弊社提供の粒子サイズから選択
アプリケーション
- 検査装置の校正
- 欠陥検出テスト
- 疑似異物欠陥
当社のパータンなしウェーハ表面検査装置【WMシリーズ】と組み合わせて使用可能です。
使用例
 PSL粒子塗布ウェーハ |
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 パーティクル検査装置 WMシリーズ |
モニタウェーハ 装置管理 |
 プロセス装置 |
ウェーハマップ
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塗布スポット例
特長
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任意の粒子サイズの
スポット塗布可能 -
全ウェーハサイズ（2ー12インチ）対応可能
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長年の塗布実績あり