ウェーハ表面検査装置 (WM series)

WMシリーズは、ノンパターンウェーハ表面のパーティクルを高感度で検出可能なハイコストパフォーマンス装置です。レーザー散乱技術を用いた光学式検査により、工程管理や装置管理用途として業界で幅広くご利用いただいています。

特長

①　高感度（48nm~）でパーティクル検出可能
②　様々なサイズのウェーハに対応可能（3種類選択）
③　省スペース
④　独自設計により、低ランニングコストを実現

仕様

	WM-7SR	WM-10R
最高検出感度（Bare-Si）	79nm (61nm optional)	48nm
ウェーハサイズ	2inch ~ 8inch	4inch ~ 12inch
ダイナミックレンジ	79nm～5.0μm	48nm～5.0μm
装置サイズ（mm）	W860 × D900 × H1650	W1530 × D1250 × H1960
安全認証	FDA、CE、SEMI

用途

・装置管理
・工程管理
・材料部材管理
・装置出荷検査
・研究開発
・ウェーハ中間・出荷検査　など