ウェーハ外観検査装置（Vi シリーズ）
Viシリーズとは
ウェーハの配線パターン、クラック、異物混入など、製品外観を高速・高精度で検査。あらゆる検査に柔軟に対応し、優れたコストパフォーマンスを実現する装置。
アプリケーション
- パータン付きシリコンウェーハ
- 膜付ウェーハ
- 化合物ウェーハ
- 透明ウェーハ
- ガラス基板
- テープフレーム
- 薄化ウェーハ
導入市場
- ファウンドリー
- 半導体デバイスメーカー
- RFフィルター
- R&D など
欠陥検出例
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欠陥検出例
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多数の導入実績に
裏打ちされた高い信頼性 -
タカノ独自の
アルゴリズムで
欠陥を検出 -
ウェーハと
テープフレームに対応 -
ダイシング後の
内部クラック検査が可能
仕様表
| 項目 | Vi-4207 | Vi-4307 | Vi-5301 |
|---|---|---|---|
| ウェーハサイズ | 2 inch ~ 8 inch | 4 inch ~ 12 inch | |
| ローダー | Open Cassette | Open Cassette, FOUP, FOSB | |
| 検査対象 | CMOSイメージセンサー、パワーデバイス、RFフィルター、MEMS、ガラス、TAIKOウェーハ | ||
| サイズ(mm) | W1880 X D1140 X H2060 | W2280 X D1140 X H2060 | W2600 X D1440 X H1790 |
| 重量 | 1650kg | 1700kg | 2800kg |