全面膜ムラ検査装置（Thinspector）
Thinspectorとは
従来の市販のスポット膜厚測定では、ウェーハ内の数か所の膜厚を測定することで膜厚管理していましたが、弊社のThinspectorでは1スキャンでウェーハ全面の検査を実施することができます。
膜付きウェーハ管理
- 装置管理
- 工程管理
- 材料部材管理
- 装置出荷検査
- 化合物ウェーハ出荷検査
- 再生ウェーハ出荷検査 など
デバイスメーカー/装置メーカー/材料メーカー
- デバイスメーカー
- OSAT
- 化合物ウェーハメーカー
- 再生ウェーハメーカー
- 装置メーカー
- 材料メーカー
- R&D など
特徴
仕様表
| 対象ウェーハ サイズ |
~ 300mm |
|---|---|
| 検査分析能（X×Y） | 350 × 350μm |
| 検査項目 | 膜ムラ |
| 測定範囲 | 300～15000nm |
| 測定点数 | 60万ポイント / 12inch |
| 装置サイズ (mm) | W1470 × D2490 × H1770 |