WMシリーズとは何ですか？

WMシリーズは、ベアウェーハ表面のパーティクルを検出するための高感度装置であり、製造工程や装置管理において業界標準として広く利用されています。

WMシリーズの特長は何ですか？

WMシリーズは様々なウェーハサイズに対応可能で、高感度・広いダイナミックレンジ、省スペース設計に優れています。また、高いコストパフォーマンスを提供します。

導入市場にはデバイスメーカー、材料メーカー、OSAT、ウェーハメーカー、装置メーカーのR&D部門などが含まれます。

WMシリーズは、ベアウェーハ表面のパーティクルなどを検査する装置で、工程、装置管理の業界標準ツールとして、幅広く使用しています。
また、様々なウェーハサイズにも対応しており、高い汎用性が特長の装置です。