WMシリーズのウェーハ表面検査装置は、どのような用途で利用できますか？

WMシリーズは、ベアウェーハ表面のパーティクル検査に特化しており、装置管理、工程管理、材料部材管理、装置出荷検査、研究開発用途、ウェーハ中間・出荷検査など幅広いアプリケーションでご活用いただけます。

WMシリーズのウェーハ検査装置の主な特長は何ですか？

WMシリーズは、ハイコストパフォーマンス、2〜12inchまでの様々なウェーハサイズへの対応、省スペース設計、そして高感度かつ広いダイナミックレンジ（最高検出感度48nm〜5.0μm）でのパーティクル検出が主な特長です。

WMシリーズは、PSL粒子塗布ウェーハのようなパーティクル、Micro Scratch（微細な傷）、COP（Crystal Originated Particle）などのベアウェーハ表面の欠陥を高感度で検出可能です。なお、本装置にはSEMは搭載されていません。

WMシリーズは、ベアウェーハ表面のパーティクルなどを検査する装置で、工程、装置管理の業界標準ツールとして、幅広く使用しています。
また、様々なウェーハサイズにも対応しており、高い汎用性が特長の装置です。