Product Information
スリット光を活用したユニークな光学系と独自の検出アルゴリズムにより、従来トレードオフの関係にあった「検出力」「汎用性」「経済性」を 1つの光学ユニットで実現。加えて被検査物の形状に依存しない検査が可能です。
検出欠陥モード | 検査範囲 |
ノイズ量 |
|||
凹 凸 | スリキズ | 異 物 | |||
ZEBBRA | ○ | ◎ | ◎ | 広い | 調整可能 |
面照明 | × | △ | ○ | 広い | 少ない |
リング照明 | △ | ◎ | ◎ | 狭い | 多い |
検査画像1 | 検査画像2 | |
ZEBBRA |
![]() |
![]() |
面照明 |
![]() |
![]() |
リング照明 |
![]() |
![]() |
概要
アプリケーション例
|
【装置イメージ】
![]()
検出能力
検出範囲300mm×300mm/shot
検査時間1sec/shot
|
ハードウェア | |||
カメラ | 400万画素 | ||
光源 | 投影式 | ||
設置条件 | 分解能 | [um] | 160×160 |
W.D. | [mm] | 350 | |
L.W.D. | [mm] | 150 | |
θ | [°] | 30 |
ソフトウェア | |
検査処理 | 特異点抽出処理、空間フィルタ、強調処理 |
輝度、サイズ判定 | |
機能 | 各光学機器制御 |
検査範囲自動設定 | |
レシピ設定アシスト機能 | |
再検査シミュレーション機能 |
欠陥検査例 |
凹凸、スリキズ、異物 |
まずは、下記フォームからお問い合わせください。
お急ぎの方、もしくは、担当者に直接ご相談されたい方は、こちらの番号にお電話ください。
タカノ株式会社 画像計測部門
TEL:03-3253-8261