Product Information
スリット光を活用したユニークな光学系と独自の検出アルゴリズムにより、従来トレードオフの関係にあった「検出力」「汎用性」「経済性」を 1つの光学ユニットで実現。加えて被検査物の形状に依存しない検査が可能です。
| 検出欠陥モード | 検査範囲 |
ノイズ量 |
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| 凹 凸 | スリキズ | 異 物 | |||
| ZEBBRA | ○ | ◎ | ◎ | 広い | 調整可能 |
| 面照明 | × | △ | ○ | 広い | 少ない |
| リング照明 | △ | ◎ | ◎ | 狭い | 多い |
| 検査画像1 | 検査画像2 | |
ZEBBRA |
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面照明 |
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リング照明 |
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概要
アプリケーション例
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【装置イメージ】
検出能力
検出範囲300mm×300mm/shot
検査時間1sec/shot
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| ハードウェア | |||
| カメラ | 400万画素 | ||
| 光源 | 投影式 | ||
| 設置条件 | 分解能 | [um] | 160×160 |
| W.D. | [mm] | 350 | |
| L.W.D. | [mm] | 150 | |
| θ | [°] | 30 | |
| ソフトウェア | |
| 検査処理 | 特異点抽出処理、空間フィルタ、強調処理 |
| 輝度、サイズ判定 | |
| 機能 | 各光学機器制御 |
| 検査範囲自動設定 | |
| レシピ設定アシスト機能 | |
| 再検査シミュレーション機能 | |
| 欠陥検査例 |
| 凹凸、スリキズ、異物 |
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タカノ株式会社 画像計測部門
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