ALTAX-300EX(マイクロバンプ検査装置)

通常、高倍率でのウェーハ全面検査には検査時間が長くかかってしまうため、全数検査をするには検査装置を複数台購入する必要があり、検査工程に今まで以上にコストがかかってしまう懸念がありました。
タカノのALTAX-300EX では新たに開発した自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを高速で全数検査ができるようになりました。

特長

• 自社製の新開発高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのウェーハのマイクロバンプにおいて3D＋2Dの同時全数検査を行うことができます。
• 12inchウェーハまでの検査を実現したことでディスクリートから高集積デバイスまで電子 部材市場全体への展開も実現できます。

仕様