製品情報

Product Information

電子部品向けウェーハ検査装置(VC series)

VC シリーズは電子部品向け小径ウェーハ、化合物半導体などの小径ウェーハに特化した検査装置です。 各検査ニーズに対応した検査ヘッドを選択し、目視検査から自動検査への移行を進めることが可能な、コストパフォーマンスモデルです。


特長

  • 同一プラットフォームを採用し、単一検査に特化することにより、ハイコストパフォーマンスを実現。
  • 深さ(VC-10)、外観(VC-20)、高さ(VC-30)の用途別の検査ヘッドの選択が可能。
  • 自動搬送、アライナーなど自動検査機としてのシステム構成も実装し、省人化に貢献。

仕様

VC-10 VC-20 VC-30
用途 深さ検査 外観検査(2D) 高さ検査(3D)
ウェーハサイズ 4 inch / 6 inch
ローダー オープンカセット(1port)、ロボット + アライナー
検査ヘッド 変位センサ モノクロエリアカメラ タカノオリジナルカメラ
検査項目 TSV、トレンチ深さ 異物、欠陥など バンプ高さ、コポラナリティ
オプション 直径、幅検査ユニット 暗視野照明ユニット 2D検査ユニット

装置外寸

ユーティリティ

電源 AC200V 30A
圧縮空気 0.5MPa 20NL/min
真空 -60KPa 20NL/min

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タカノ株式会社　画像計測部門

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