Thinspector(全面膜ムラ検査装置)

従来の市販のスポット膜厚測定では、ウェーハ内の数か所の膜厚を測定することで膜厚管理していましたが、タカノのThinspectorでは1スキャンでウェーハ全面の検査を実施することができます。

特長

• 従来、測定点以外の部分での膜厚異常は検知できませんでしたが、ウェーハ全面で抜けのない膜厚測定ができます。
• 全面の膜厚測定と併せてムラ検査を実施するため、膜厚測定で良品レンジに埋もれてしまうレベルの僅かな膜厚差を検知することができます。
• 全面の膜厚測定＋ムラ検査を高速で実施することができます。(1min未満／12inch)

仕様