Product Information
従来の市販のスポット膜厚測定では、ウェーハ内の数か所の膜厚を測定することで膜厚管理していましたが、タカノのThinspectorでは1スキャンでウェーハ全面の検査を実施することができます。
製品名 | Thinspector |
---|---|
製品仕様 |
測定原理:光干渉法 分解能:350um 測定対象:ウェーハ上に形成された膜厚ムラ 対応可能サイズ:~12inch |
発売日 | 2023年2月1日(水) |
想定する業界 | 国内外の半導体メーカー向け SiC、GaN等の化合物半導体にも対応できます。 |
まずは、下記フォームからお問い合わせください。
お急ぎの方、もしくは、担当者に直接ご相談されたい方は、こちらの番号にお電話ください。
タカノ株式会社 画像計測部門
TEL:03-3253-8261